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立式接觸式干涉儀JDS-1參數
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被測件較大長度: |
150 mm |
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工作臺行程: |
5 mm |
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測桿移動范圍: |
0.5mm |
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分劃板刻度范圍: |
±50格 |
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直接測量范圍: |
5-20μm |
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分度值調整范圍: |
0.05-0.2 μm |
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推薦使用分度值: |
0.1 μm |
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測量壓力: |
(1.5±0.1) N |
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儀器示值穩定性: |
0.02 μm |
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儀器誤差: |
±(0.03+1.5ni △λ/λ)um n 是格數, i是格值,λ是濾光片中心波長,△λ是濾光片波長誤差 |
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儀器體積: |
280×500×700 mm |
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儀器重量: |
40 kg |
原舊站參數地址:
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